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《集成电路清洗剂资料》包括专利技术全文资料6份。
0001)半导体制造工艺中更换清洗剂的方法

0002)新型清洗剂以及使用它的清洗方法

0003)一种用于超大规模集成电路芯片的清洗剂组合物及其制备方法

0004)硅磨片清洗剂

0005)一种用于集成电路衬底硅片的清洗剂及其清洗方法

0006)集成电路制造中的清洗剂



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